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YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法
免费 分类:有色冶金(YS) 作者:检验标准 / 阅读:1714
YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法 有色金属行业标准(YS) YS/T24-1992 本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连,本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度
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